Дулааны эрчим хvчний микроэлектроникийн хувьсгуурВиктор А.Гридчин Микроэлектроник, хагас дамжуулагчийн профессор,
Владимир М.Лубибский Хавсармал функцийн профессор
Олег В.Лобач Новосибирскийн Техникийн Их Сургуулийн Микроэлектоник
хагас дамжуулагчийн тэнхимийн туслах
Орчуулсан
Ц.Эрдэнэцэцэг Доктор (Ph.D) Дэд профессор
Д.Vлэмж Магистр
1. Оршил
Шингэний (хий ба шингэн) урсгалын зарцуулалтыг хэмжих нь дулааны эрчим хvч ба барилгын инженерийн салбарт чухал vvрэг гvйцэтгэнэ. Хэмжилтийн арга ба хувьсгуурын тухай асуудлыг яаж шийдэж байгаагаас нь хамааран хєгжиж ирсэн.
Урсгалын зарцуулалтыг хэмжихэд хэт дуу авианы, дулааны, цахилгаан соронзон болон механик арга ба хувьсгуурууд хэрэглэгдэнэ. Дулааны алдагдлыг тооцоход дулааны элекроник хувьсгуур хэрэглэх нь илvv оновчтой байдаг. Одоогоор єндєр мэдрэмжтэй, бага овортой хямд vнэ єртєг бvхий микроэлемент дээр vндэслэгдсэн хувьсгуур vйлдвэрлэхэд их анхаарал тавьж байна.
Эдгээр хувьсгуурыг хэрэглэх нь хэдий тийм боловч силикон дамжуулагчийн ажлын температурын дээд хязгаараар vргэлж хязгаарлагдаж байдаг. Энэ илтгэлд 250 С – аас дээш температурт шингэн ба хийн зарцуулалт хэмжигч ба дулааны урсгалын тоолуурын микросистемийн технологийн талаар авч vзсэн.
